精密零件供應(yīng)商生產(chǎn)的電磁閥閥芯, 經(jīng)過鐳射焊接后, 懷疑焊縫存在微小的泄漏, 單個閥芯最終漏率需要低于 5-10 mbar l/s，經(jīng)過伯東推薦 Pfeiffer  氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340  對其生產(chǎn)的電磁閥閥芯檢漏.

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 技術(shù)參數(shù):

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 優(yōu)點:

1. 前級泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s

3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的最小檢檢漏率：

   真空模式：5E-13 Pa m3/s

   吸槍模式：5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認最小漏率

4. 移動式操作面板（有線、無線）

5. 集成SD卡, 方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動, 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險性

7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標(biāo)準漏孔等

8. 檢測時間短

待檢漏產(chǎn)品及檢漏示意圖:

氦質(zhì)譜檢漏儀電磁閥檢漏

由于半導(dǎo)體工業(yè)上用的氣體如矽烷 SiH4, 氨氣 NH3 等等都是有毒或有腐蝕性的氣體, 所以對所用的閥及相關(guān)部件, 漏率要求非常嚴格.

若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
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