浙江某 CVD 人造鉆石制造商采用伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 對(duì)其 CVD 鉆石生產(chǎn)設(shè)備長晶爐檢漏, 客戶采用負(fù)壓法對(duì) Seki 長晶爐設(shè)備真空腔和氣體供應(yīng)系統(tǒng)進(jìn)行檢漏, 經(jīng)過泄漏檢測, 生產(chǎn)的人造鉆石可以匹配甚至超過天然鉆石的質(zhì)量和特性!
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 技術(shù)參數(shù):
型號(hào)
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ASM340
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ASM340 D
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ASM340 I
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對(duì)氦氣的最小檢檢漏率
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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檢測模式
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真空模式和吸槍模式
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真空模式和吸槍模式
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真空模式和吸槍模式
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檢測氣體
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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啟動(dòng)時(shí)間 min
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3
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3
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3
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對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s
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2.5
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2.5
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2.5
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進(jìn)氣口最大壓力 hPa
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25
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25
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5
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前級(jí)泵抽速 m3/h
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油泵 15
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隔膜泵 3.4
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不含前級(jí)泵
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重量 kg
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56
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45
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32
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氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 優(yōu)點(diǎn):
1. 前級(jí)泵配備旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高達(dá)15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s
3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的最小檢檢漏率:
真空模式:5E-13 Pa m3/s
吸槍模式:5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)最小漏率
4. 移動(dòng)式操作面板(有線、無線)
5. 集成SD卡, 方便資料處理
6. 抗破大氣、抗震動(dòng), 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)性
7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等
8. 檢測時(shí)間短
待檢漏產(chǎn)品:
長晶爐設(shè)備需要檢漏:
在 CVD 過程中, 將一片薄的金剛石種子 ( 通常是天然的金剛石) 放置在密封室中, 加熱到 800攝氏度左右. 然后通入富碳?xì)怏w ( 通常是甲烷 ) 和其他氣體. 如果密封室或者氣體供應(yīng)系統(tǒng)有漏, 直接影響原子沉積, 導(dǎo)致無法形成鉆石或質(zhì)量不佳.
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