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伯東 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM340D 用于長晶爐設備檢漏

發布時間: 來源:伯東貿易(深圳)有限公司

浙江某 CVD 人造鉆石制造商采用伯東 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM340 對其 CVD 鉆石生產設備長晶爐檢漏, 客戶采用負壓法對 Seki 長晶爐設備真空腔和氣體供應系統進行檢漏, ....

浙江某 CVD 人造鉆石制造商采用伯東 Pfeiffer  氦質譜檢漏儀 ASM340  對其 CVD 鉆石生產設備長晶爐檢漏, 客戶采用負壓法對 Seki 長晶爐設備真空腔和氣體供應系統進行檢漏, 經過泄漏檢測, 生產的人造鉆石可以匹配甚至超過天然鉆石的質量和特性!


氦質譜檢漏儀 ASM340 技術參數:

型號

ASM340

ASM340 D

ASM340 I

對氦氣的最小檢檢漏率

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

檢測模式

真空模式和吸槍模式

真空模式和吸槍模式

真空模式和吸槍模式

檢測氣體

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

啟動時間 min

3

3

3

對氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

2.5

2.5

進氣口最大壓力 hPa

25

25

5

前級抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前級泵

重量 kg

56

45

32

 

氦質譜檢漏儀 ASM340 優點:

1. 前級泵配備旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高達15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s

3. 氦質譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的最小檢檢漏率:

   真空模式:5E-13 Pa m3/s

   吸槍模式:5E-10 Pa m3/s 目前業界公認最小漏率

4. 移動式操作面板(有線、無線)

5. 集成SD卡, 方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動, 降低由操作失誤帶來的風險性

7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標準漏孔等

8. 檢測時間短

 

待檢漏產品:

氦質譜檢漏儀 CVD 鉆石長晶爐檢漏

 

長晶爐設備需要檢漏:

在 CVD 過程中, 將一片薄的金剛石種子 ( 通常是天然的金剛石) 放置在密封室中, 加熱到 800攝氏度左右. 然后通入富碳氣體 ( 通常是甲烷 ) 和其他氣體. 如果密封室或者氣體供應系統有漏, 直接影響原子沉積, 導致無法形成鉆石或質量不佳.

 

若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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