產品描述

AFM5500M II全自動掃描探針顯微鏡集成了高精度掃描器和自動化測量功能，并具備共享坐標樣品臺功能，可實現多維缺陷評價。其關鍵特性包括自動化測量、高精度水平掃描、改進的角度測量、探針評價功能、SIS模式提高數據可靠性、廣泛的物性測量支持、新的表面電位測量模式及多種顯微鏡聯動分析功能，顯著提升測量精度和效率。

應用領域

一、材料科學

1. 表面形貌分析：可精確測量材料表面的三維形貌，獲取納米級的粗糙度、平整度等信息，幫助研究人員了解材料的微觀結構和加工質量。例如，在金屬材料表面處理后，通過AFM觀察其表面的微觀起伏，評估處理工藝的效果；對于陶瓷材料，分析其燒結后的表面形貌，研究晶粒生長和孔隙分布情況。

2. 物理性質研究：能測量材料表面的摩擦力、阻抗分布、電勢分布、介電常數、壓電特性、磁學性質等物理性質的分布差異。比如，研究磁性材料的磁疇結構，通過AFM的磁力顯微鏡模式觀察磁疇的分布和變化；對于壓電材料，利用壓電力顯微鏡模式研究其在納米尺度下的壓電響應。

3. 材料相變與結構演變：結合加熱或環境控制裝置，可研究材料在不同溫度、氣氛等條件下的相變過程和結構演變。例如，對聚合物材料進行加熱，觀察其在相變過程中的表面結構變化，有助于理解聚合物的熱性能和失效機理。

二、半導體工業

1. 晶圓檢測：用于檢測半導體基片表面的拋光缺陷、圖形化結構、薄膜表面形貌等，提供定量的表面粗糙度數據和深度信息，幫助控制晶圓的加工質量。例如，檢測光刻后晶圓表面的圖案精度和粗糙度，及時發現可能影響芯片性能的缺陷。

2. 器件分析：可檢測半導體器件表面的缺陷，如電流泄漏、結構缺陷、晶格錯位等，以及表面阻抗、電勢分布、介電常數、摻雜濃度等電學性質，有利于半導體材料的可靠性、均一性和失效性分析。比如，通過測量器件表面的電勢分布，研究其電學性能的不均勻性，為優化器件設計和工藝提供依據。

三、生命科學

1. 生物分子研究：能夠原位檢測溶液中DNA、蛋白質等生物分子的精細結構，還可對其進行力學和電學性質的測量，獲得生物樣品的楊氏模量以及阻抗特性等信息。例如，觀察DNA分子的折疊和伸展狀態，研究蛋白質的構象變化與功能的關系。

2. 細胞研究：用于測量細胞的機械特性，如細胞的彈性、硬度等，以及觀察細胞表面的形貌和膜蛋白的定位。例如，研究癌細胞與正常細胞在力學性質上的差異，為癌癥的診斷和治療提供新的思路；觀察細胞在不同培養條件下的表面形貌變化，了解細胞的生長和分化過程。

四、電化學領域

1. 電化學反應機理研究：可以原位研究電化學沉積過程、金屬腐蝕過程等，揭示電化學的反應機理。例如，通過實時觀察金屬在電解液中的腐蝕過程，了解腐蝕的起始位置和發展趨勢，為開發防腐措施提供理論支持。

2. 電池研究：結合手套箱等裝置，原位研究鋰電池等電池的充放電過程，有利于提高電池效率和性能。比如，觀察電池電極材料在充放電過程中的表面形貌和結構變化，研究電極材料的穩定性和反應動力學，為優化電池材料和設計提供指導。

儀器功能

一、高精度成像：標配管型掃描器，最大掃描范圍≥20μm×20μm×3μm，掃描分辨率優于0.02nm，可獲取樣品表面高分辨率的三維形貌圖像。

二、多種測量模式：除常規成像模式外，還具備接觸、輕敲、相位、側向力、力調制、力曲線等多種測量模式，可同時獲取彈性模量、形變、吸附力和摩擦力等各種機械物性，以及導電性、壓電分布和表面電位等各種電磁物性。

三、表面電位測量：除調幅開爾文力顯微鏡（AM-KFM）外，新增了調頻開爾文力顯微鏡（FM-KFM）。FM-KFM 信號主要來自于探針的尖端，電位檢測靈敏度更高，在電位的定量分析上更出色，兩種模式可通過點擊自由切換，適用于不同類型樣品的電位測量。

四、數據采集與分析：一次掃描多幅圖像，每幅圖像采樣點最高達4000×4000物理像素，可多通道信號同時采集和顯示，一次掃描即可同時得到樣品多種性質與特征，具有圖像及曲線數據導出功能，可取得全部原始數據。

五、探針評價與管理：具有探針評價功能，可進行探針尖端直徑管理，有助于保證測量的準確性和可靠性。

六、聯用功能：AFM Marking標記功能可以在AFM測量點周圍創建標記，便于SEM或CSI等其他設備識別，實現多種設備對樣品同一區域的高精度觀察和測量，提高了聯用分析的效率和準確性。

儀器特點

一、自動化程度高：通過自動化控制大大提高效率，具備自動探針安裝、自動光軸調整、自動參數優化等功能，一鍵自動測量/處理/分析，排除人為操作失誤導致的測量誤差，即使不熟悉操作的用戶也能輕松獲取高精度數據。

二、測量可靠性強：搭載全新研發的水平掃描器，可實現不受圓弧運動影響的準確測試，在豎直方向上不會發生彎曲，可得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像；SIS（Sampling Intelligent Scan）樣品智能掃描模式可有效提高數據可靠性，自動控制探針位置，消除對測量不利的水平力，可測量吸附力較大或粗糙的樣品，降低對探針的磨損和對樣品的損傷。

三、操作簡便：配備4英寸自動馬達臺，自動更換懸臂功能，僅需一次點擊就可以進行懸臂的更換，極大地提升了操作簡便性。

四、功能強大：支持機械物性、電磁物性等廣泛的物性測量，可進行I-V、I-Z、力-距離等多種曲線測量分析，在線實時三維圖像顯示，檢測過程可即時得到更直觀的形貌和豐富的細節。

技術指標和基本參數