催化燃燒設備主要由活性炭吸附箱、阻火器、熱交換器，催化反應床，風機這幾個主要部件組成。與直接燃燒相比，催化燃燒溫度較低，燃燒比較完全。催化燃燒用的是表面具有貴金屬和金屬氧化物的催化劑，將有機污染物的廢氣在催化劑鉑、鈀的作用下，可以在較低的溫度下將廢氣中的有機污染物氧化成二氧化碳和水。催化劑的加入并不能改變原有的化學平衡，所改變的僅是化學反應的速度，而在反應前后，催化劑本身的性質并不發生變化。

將有機廢氣直接引入催化燃燒裝置，在開始階段需通過電加熱器將其環境溫度升高至反應要的環境溫度，有機廢氣在催化催化劑作用發生氧化放熱反應生成沒有害處的H2O和CO2，分掉后釋放出的熱量通過熱交換機加熱進入催化床的有機廢氣，當有機廢氣的濃度達到固定的濃度時，放熱和熱交換所要熱量達到平衡，無需電加熱器，通過自身平衡處理掉濃度較高的有機廢氣。上述過程可通過PLC系統控制柜全自動操作。

催化分法已成為凈化濃度較高的有機廢氣的手段，特別適合治理噴涂、油墨印刷等在烘干過程中排出的濃度較高的有機廢氣。因烘干有機廢氣環境溫度和物濃度都較高，對分截反應及熱量回收有利，降低機器設備運行及投資費用。