活性炭：

使用硬度較高的成型活性炭，可以裝載在數個吸附罐體中對于引入的VOCs廢氣進行吸附。待吸附飽和之后通過另一路加熱的脫附風對罐內進行吹掃，可以將VOCs廢氣以較小風量脫附出活性炭儲罐。當一套系統對復數活性炭罐進行并聯時，可以濃縮大風量的VOCs工藝尾氣。
活性炭材料吸附效率高，但安全上活性炭難以控制，脫附溫度高回導致起火甚至爆炸等危險情況。適合于沸點較低的溶劑揮發物。
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催化氧化法（CO）：

利用化學催化劑的催化性能降低通過催化床的有機物質的燃點，可以在較低溫度條件下就實現廢氣的熱氧化。由于不需要將反應溫度升高到高溫就可以實現有機物的分解氧化，系統可以在相對較低溫的條件下運行，升溫速度更快，且可以利用電熱管等方法對系統進行加熱，燃料選擇面更廣。
與直燃氧化法相同，可以通過換熱器將部分尾氣的熱量傳遞給設備入口的尾氣，降低前后的溫差。
催化氧化法通常應用在風量較小、有機廢氣濃度較高的生產工藝。更適合于需要隔爆的生產現場。但由于催化劑的性能限制，不可在廢氣中含有鹵素、金屬粉塵、硅粉塵等工藝的生產現場使用。