光氧采用高強C波段紫外線將廢氣分子鏈裂解、氧化，徹底破壞廢氣分子團，使高濃度污染物分解氧化成低分子無害物質(zhì)。臭氧強氧化有機氣體分子，光觸媒粒子氧化有害氣體分子，經(jīng)過處理后的有機物分解為水（H2O）、二氧化碳（co2）和低分子無臭無害化合物，在出風口的5米內(nèi)能聞到淡淡的臭氧味，迅速溶于空氣中，轉(zhuǎn)化為氧氣。
等離子介質(zhì)阻擋放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能或動能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產(chǎn)生大量的新生態(tài)氫、臭氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內(nèi)部富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應，轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣的目的。
