光氧采用高強C波段紫外線將廢氣分子鏈裂解、氧化，徹底破壞廢氣分子團，使高濃度污染物分解氧化成低分子無害物質。臭氧強氧化有機氣體分子，光觸媒粒子氧化有害氣體分子，經過處理后的有機物分解為水（H2O）、二氧化碳（co2）和低分子無臭無害化合物，在出風口的5米內能聞到淡淡的臭氧味，迅速溶于空氣中，轉化為氧氣。
等離子介質阻擋放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產生大量的新生態氫、臭氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
