LNHY低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。利用高頻高壓的電場與光輻照在電場作用下，離子發(fā)生器產(chǎn)生大量的粒子， 粒子與空氣中的氧分子進行碰撞而形成正、負氧離子。光與廢氣氣體分子的相互作用又可以看做是輻射場（震蕩電場）與電子（震蕩偶極子）會聚時的一種能量交換。使廢氣物質(zhì)分子的能態(tài)發(fā)生了改變，即分子的轉(zhuǎn)動、振動或電子能級發(fā)生變化，由低能態(tài)被激發(fā)至高能態(tài)，這種變化是量子化的。且在與 VOC 分子相接觸后打開有機揮發(fā)性氣體的化學(xué)鍵，經(jīng)過一系列的復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，最終生成二氧化碳和水等穩(wěn)定無害的小分子。

（1）在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能量能夠打開某些有害氣體分子的化學(xué)能，如：苯、甲苯、二甲苯、氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯、乙烯，硫化物H2S、VOC類的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈分解為單質(zhì)原子或無害分子。

   （2）等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，在電場作用下，廢氣分子處于激發(fā)態(tài)，當(dāng)廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。

    反應(yīng)過程如下：

 O2+e（3.6eV）→?O+O

 H2O+e（5.09eV）→?OH+H－ O+?OH→?OH2

 H2S+?OH→HS+H2O HS+O2+O2＋+O2－→SO3+H2O

 NH3?OH→NH2+H2O CH2O+O2＋+O2→+?OH→H?COOH+H2O